减压干燥装置及减压干燥方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116493226 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211425477.5 (22)申请日 2022.11.15 (30)优先权数据 2022-009464 2022.01.25 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府京都市上京区堀川通寺之 内上4丁目天神北町1番地之1 (72)发明人 高村幸宏　 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 专利代理师 贺财俊　刘芳 (51)Int.Cl. B05D 3/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图4页 (54)发明名称 减压干燥装置及减压干燥方法 (57)摘要 本发明提供一种在通过减压来使形成于基 板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置中，能够 减少泵数量的减压干燥装置及减压干燥方法。减 压干燥装置(1)的减压机构(20)具有：第一专用 泵(51)、第二专用泵(52)、以及共有泵(55)。第一 专用泵(51)进行从第一腔室(11)的排气。第二专 用泵(52)进行从第二腔室(12)的排气。共有泵 (55)能够在从第一腔室(11)的排气与从第二腔 室(12)的排气之间进行切换来使用。由此，能够 减少泵的数量。 A 6 2 2 3 9 4 6 1 1 N C CN 116493226 A 权　利　要　求　书