一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法2026

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117900916 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410306067.1 (22)申请日 2024.03.18 (71)申请人 山东理工大学 地址 255086 山东省淄博市高新技术开发 区高创园A座313室 (72)发明人 田业冰　苑祥昱　钱乘　武广义　 (51)Int.Cl. B24B 1/00 (2006.01) B24B 31/10 (2006.01) B24B 31/12 (2006.01) B24B 57/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增 稠抛光装置及方法 (57)摘要 本发明涉及精密与超精密加工领域，针对现 有晶圆边缘倒角后出现的尖角、割裂、划痕、毛刺 等瑕疵，特别公开了一种晶圆边缘多磁极磁场可 控磁性剪切增稠抛光装置及方法，所述装置包括 机床、真空吸盘、磁场发生装置、介质循环装置。 所述晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛 光装置通过改变三组磁极的排布方式，可在抛光 区域内形成多种可控的耦合磁场，结合高性能磁 性剪切增稠抛光介质，实现对不同尺寸和角度要 求的晶圆边缘抛光。 A 6 1 9 0 0 9 7 1 1 N C CN 117900916 A 权　利　要　求　书 1/2页 1