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发明

测量变化的方法、检查系统、计算机程序和计算机系统2024

2024-04-21 07:55:18 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202110913302.8
  • 公开（公告）日：2024-04-19
  • 公开（公告）号：CN113552777A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：披露了在器件制造过程的步骤之后测量一图案在一个或多个衬底上的多个实例之间的变化的方法。在一种配置中，接收表示一组图像的数据。每个图像表示该图案的不同实例。该组图像相对于彼此被配准以叠加所述图案的实例。使用配准的该组图像来测量所述图案的变化。所述图案包括多个图案元素，并且所述配准包括将不同的权重应用于所述多个图案元素中的两个或更多个。所述权重控制每个图案元素对该组图像的配准的贡献程度。每个权重基于被应用所述权重的图案元素的预期变化。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113552777 A (43)申请公布日 2021.10.26 (21)申请号 202110913302.8 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 2018.02.07 G03F 7/00 (2006.01) (30)优先权数据 G01N 21/956 (2006.01) 17157931.1 2017.02.24 EP G01N 21/95 (2006.01) (62)分案原申请数据 H01L 21/66 (2006.01) 201880013485.4 2018.02.07 G06K 9/32 (2006.01) (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 A ·G ·M ·基尔斯　 斯科特 ·安德森 ·米德尔布鲁克斯　 简-威廉 ·格明科　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 王益

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