具有微细多引线的压力传感器及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114291783 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111676552.0 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人 深圳市信为科技发展有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街 道爱联社区陂头背村新丰路28号 (72)发明人 范茂军　黄富年　韩志磊　 (74)专利代理机构 深圳市深弘广联知识产权代 理事务所(普通合伙) 44449 代理人 向用秀 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 具有微细多引线的压力传感器及其制备方 法 (57)摘要 本发明为具有微细多引线的压力传感器及 其制备方法，传感器包括有相互焊接固定的多根 引线和压力传感器芯片；焊点的表面设置有低温 玻璃烧结层，在低温玻璃烧结层的表面设置有氮 化硅结构层；各层级材料的热膨胀系数在较广的 温度范围内呈现良好的热匹配性，可以达到‑70‑ 350℃范围使用，并且保证了良好的生物相容性 和使用稳定性；其制备方法包括：在漆包线的一 端形成开裂结构；去除外表皮以使引线端子露 出；采用焊接或压合方法，使引线端子固定于焊 盘上；采用低温玻璃粉在引线端子和焊盘的连接 A 点上形成低温玻璃烧结层；在低温玻璃烧结层表 3 面