微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220781090 U (45)授权公告日 2024.04.16 (21)申请号 202321301577.7 (22)申请日 2023.05.26 (30)优先权数据 102022000011279 2022.05.27 IT 18/320,876 2023.05.19 US (73)专利权人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 D ·朱斯蒂　F ·夸利亚　 M ·费雷拉　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 李兴斌 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图9页 (54)实用新型名称 微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装 置 (57)摘要 本公开涉及微机械压力换能器、换能器阵列 和微机电装置。一种微机械压力换能器，包括：固 定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在主 腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区 域，可移动区域通过可变形结构机械耦合到固定 体。每个可变形结构包括：支撑结构，其包括第一 梁和第二梁，第一梁和第二梁各自具有分别固定 到固定体和可移动区域的端部，第一梁以一定距 离叠置在第二梁上；以及至少一个压电换能结 构，机械地耦合到第一梁。压电换能结构是电可 控的，使得它们引起相应支撑结构的相应变形和 U 可移动区域沿平移方向的相应平移。本公开的实 0 施