一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114572931 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210193792.3 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究 院 地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号 (72)发明人 张小玲　王德强　刘业香　何石轩　 谢婉谊　方绍熙　殷博华　 (74)专利代理机构 北京汉迪信和知识产权代理 事务所(普通合伙) 16085 专利代理师 赵景焕 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) C12Q 1/6869 (2018.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一种可控厚度的卯榫结构纳米孔的制备方 法 (57)摘要 本发明提供了一种可控厚度的卯榫结构纳 米孔的制备方法，其制备的可控厚度的卯榫结构 纳米孔为基于近零厚度纳米孔的卯榫结构纳米 孔，其包括上下两个垂直的纳米通道和中间一个 纳米孔，所述可控厚度的卯榫结构纳米孔通过二 氟化氙XeF 刻蚀上下两层硅纳米线形成两个垂 2 直的纳米通道。本发明可控厚度的卯榫结构纳米 孔通过调节中间纳米孔的厚度可以调节该纳米 孔的空间分辨率；通过增加上下两层纳米通道的 厚度，提高了纳米孔的信