压电装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116140171 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202211434248.X (22)申请日 2022.11.16 (30)优先权数据 2021-188435 2021.11.19 JP (71)申请人 精工爱普生株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 山田昌佳　大泽荣治　 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 专利代理师 李丹 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 压电装置 (57)摘要 一种压电装置，能够抑制基于粘接剂的共振 频率的变化。所述压电装置具备：第一基板，包括 配置有压电元件和被连接于压电元件的共用端 子的第一面；第二基板，包括配置有被连接于控 制电路的共用连接端子的第二面；第三基板，被 配置于第一基板和第二基板之间，包括被接合于 第一面的第三面、和与第二面对置的第四面；以 及粘接部，将第二基板和第三基板粘接，第三基 板具备从第三面贯通至第四面的第一贯通孔、和 设置于第一贯通孔且连接于共用端子的第一贯 通电极，共用连接端子被连接于第一贯通电极， 并经由第一贯通电极与共用端子电连接，第二基 A 板具备抑制粘接剂流出到与第三基板对置的第 1 二面的壁部。 7 1 0 4 1 6 1 1 N C CN 116140171 A