一种高性能惯性传感器的工艺制备流程中在线调频方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117865060 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202410051527.0 (22)申请日 2024.01.15 (71)申请人 中国兵器工业集团第二一四研究所 苏州研发中心 地址 215000 江苏省苏州市高新区龙山路 89号 (72)发明人 郭述文　 (74)专利代理机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 32103 专利代理师 范晴 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G01C 21/18 (2006.01) G01C 21/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种高性能惯性传感器的工艺制备流程中 在线调频方法 (57)摘要 本发明公开了一种高性能惯性传感器的工 艺制备流程中在线调频方法，包括：提供具有顶 部平面和底部平面的第一基板；提供具有上平坦 表面的第二基板；将第二基板的一部分从上平坦 表面蚀刻，形成多个凸起和浅腔，每个凸起具有 上平坦表面；将第一基板的顶部平面结合到凸起 的上部平坦表面形成锚固部分；刻蚀掉第一基板 的一定位置的氧化物层；从底部表面和/或顶部 表面蚀刻第一基板的一部分至第一基板的总厚 度，将透明封盖晶圆蚀刻至预定深度以形成顶部 凹槽，并将透明封盖晶圆与结构晶圆在高真空条 A 件下使用玻璃料粘结来完成真空键合；顶层封盖 0 完成后进行