一种MEMS红外光源的衬底结构

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218202203 U (45)授权公告日 2023.01.03 (21)申请号 202222813687.3 (22)申请日 2022.10.25 (73)专利权人 微集电科技（苏州）有限公司 地址 215002 江苏省苏州市中国（江苏）自 由贸易试验区苏州片区苏州金鸡湖大 道99号苏州纳米城中北区23幢214室 (72)发明人 刘军林　吕全江　侯海港　刘桂武　 乔冠军　郝俊操　夏松敏　陈杰　 (74)专利代理机构 合肥市泽信专利代理事务所 (普通合伙) 34144 专利代理师 潘飞 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书10页 附图6页 (54)实用新型名称 一种MEMS红外光源的衬底结构 (57)摘要 本实用新型涉及红外光源领域，特别是涉及 一种MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为 MEMS光源的底部支撑结构，包括衬底、支撑层以 及发射层。衬底结构上负载MEMS光源的发光结 构。其中，衬底上表面的中央设有向下凹陷的凹 坑，凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧 壁。凹坑的上口至少完整覆盖上方的红外发射 层。反射层完整覆盖在衬底中凹坑的内壁上；反 射层用于反射2‑14微米波长的红外线。支撑层覆 盖在衬底上表面，支撑层和衬底呈四边固支结构 相接，二者之间形成空腔结构。支撑层中设有与 下方