波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子束照射装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864129 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210104094.1 (22)申请日 2022.01.28 (30)优先权数据 2021-016707 2021.02.04 JP (71)申请人 纽富来科技股份有限公司 地址 日本神奈川县 (72)发明人 池田迪彦　峰彰谦　河原邦昭　 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 专利代理师 牛玉婷 (51)Int.Cl. G21K 5/00 (2006.01) G03F 1/20 (2012.01) 权利要求书3页 说明书12页 附图12页 (54)发明名称 波形生成装置、波形生成方法以及带电粒子 束照射装置 (57)摘要 一种能够抵消在放大器的输出中产生的电 压尖峰脉冲的波形生成装置、波形生成方法以及 带电粒子束照射装置。波形生成装置具备：第一 DA转换器，对输入数据进行数字模拟转换并输 出；控制部，输出第一信号以及第二信号，该第一 信号具有基于输入数据的指令值，该第二信号具 有与第一信号的指令值的差分成为恒定的指令 值；第二DA转换器，对第一信号进行数字模拟转 换并输出；第三DA转换器，对第二信号进行数字 模拟转换并输出；以及合成器，对第一DA转换器、 第二DA转换器及第三DA转换器的输出进行合成。 A 控制部在输入数据的规定的第一高位比特的值 9 反转时，对第一信号的指令值进行变更，以使该 2 1