纳米构造基板
- 申请专利号:CN202080011193.4
- 公开(公告)日:2021-09-10
- 公开(公告)号:CN113382954A
- 申请人:日本电镀工程股份有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113382954 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202080011193.4 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 (22)申请日 2020.03.26 代理人 闫加贺 韩蕾 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-085319 2019.04.26 JP B82B 1/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 18/16 (2006.01) 2021.08.13 C23C 18/52 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/013701 2020.03.26 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/217842 JA 2020.10.29 (71)申请人 日本电镀工程股份有限公司 地址 日本东京都 (72)发明人 伊东正浩