具有可移动平台的微机电装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111377388 A (43)申请公布日 2020.07.07 (21)申请号 201811622508.X (22)申请日 2018.12.28 (71)申请人 财团法人工业技术研究院 地址 中国台湾新竹县 (72)发明人 许郁文　叶哲恺　郭秦辅　黄肇达　 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯 (51)Int.Cl. B81B 3/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) H04N 5/232(2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 具有可移动平台的微机电装置 (57)摘要 本发明公开一种具有可移动平台的微机电 装置，包含基板、至少一固定座、平台、感测芯片 以及至少一弹性元件。固定座设置于基板上。平 台包含至少一电极与至少一导电连接层。感测芯 片设置于平台上并且包含至少一电性互连元件， 电性互连元件连接于平台的导电连接层。弹性元 件连接平台与至少一固定座，其包含至少一第一 电性通道、第二电性通道以及电性绝缘层。第一 电性通道用以传递感测芯片产生的第一电性信 号。电性绝缘层设置于第一电性通道及第二电性 通道之间。第一电性通道电连接于电性互连元 件，且第二电性通道电连接于电极。 A 8 8 3 7 7 3 1