一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法2023

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111470469 A (43)申请公布日 2020.07.31 (21)申请号 202010298456.6 G01J 5/12(2006.01) (22)申请日 2020.04.15 (71)申请人 无锡物联网创新中心有限公司 地址 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道200号中国传感网国际创新园B栋4 楼 (72)发明人 张琛琛　丁雪峰　毛海央　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 刘林涛 (51)Int.Cl. B81C 1/00(2006.01) B81C 99/00(2010.01) B81B 7/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法 (57)摘要 本发明提供的MEMS热电堆红外探测器及其 制备方法，将具有自检测功能的热电阻集成到 MEMS热电堆探测器上，实际使用前通过对热电阻 施加电压，其产生的焦耳热通过红外吸收单元传 导至热电偶对组件热端，获得热电偶对组件的输 出电压，并将三次施压得到的输出电压的差值进 行计算，并与响应率差值预设阈值对比