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PCT发明

药液、药液容纳体、抗蚀剂图案形成方法、半导体芯片的制造方法

2023-06-07 12:28:54 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980064889.0
  • 公开（公告）日：2024-11-05
  • 公开（公告）号：CN112805628A
  • 申请人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种在用作显影液或冲洗液时，能够形成图案间隔的偏差得到抑制的抗蚀剂图案的药液、药液容纳体、抗蚀剂图案形成方法及半导体芯片的制造方法。本发明的药液含有乙酸正丁酯及乙酸异丁酯，所述药液中，相对于药液总质量，乙酸正丁酯的含量为99.000～99.999质量％，相对于药液总质量，乙酸异丁酯的含量为1.0～1000质量ppm。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805628 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980064889.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.09.04 代理人 薛海蛟 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018-188517 2018.10.03 JP G03F 7/32 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B65D 1/00 (2006.01) 2021.03.31 G03F 7/26 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/027 (2006.01) PCT/JP2019/034756 2019.09.04 G03F 7/038 (2006.01) G03F 7/039 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布

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