用于获得关于以CVD法沉积的层的信息的方法和设备2024
- 申请专利号:CN202311430530.5
- 公开(公告)日:2024-03-08
- 公开(公告)号:CN117660934A
- 申请人:艾克斯特朗欧洲公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117660934 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202311430530.5 H01L 21/67 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2018.12.13 C23C 16/30 (2006.01) (30)优先权数据 C23C 16/52 (2006.01) 102017130551.3 2017.12.19 DE C23C 16/34 (2006.01) (62)分案原申请数据 C23C 16/448 (2006.01) 201880088514.3 2018.12.13 (71)申请人 艾克斯特朗欧洲公司 地址 德国黑措根拉特 (72)发明人 P ·S ·劳弗 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 专利代理师 任丽荣 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
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