减压干燥装置及减压干燥方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117884329 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311319374.5 (22)申请日 2023.10.11 (30)优先权数据 2022-164794 2022.10.13 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府 (72)发明人 北村翔也　高村幸宏　竹市祐实　 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 专利代理师 宋晓宝 (51)Int.Cl. B05D 3/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书18页 附图16页 (54)发明名称 减压干燥装置及减压干燥方法 (57)摘要 本发明提供一种对涂敷膜的干燥不均进行 抑制的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥 装置(1)具备腔室(10) 、支撑部(20) 、冷却部 (40)、第一升降部(100)、减压机构(30)和控制部 (80)。支撑部(20)在腔室内支撑基板(9)。冷却部 (40)冷却与基板 (9)的上表面相对的冷却面 (40a)。第一升降部(100)使支撑部和冷却面中的 至少任一方在基板与冷却面之间的间隔为第一 间隔的第一状态与该间隔为宽于所述第一间隔 的第二间隔的第二状态之间升降。减压机构吸引 腔室内的气体，降低腔室内的气压。控制部控制 第一升降部和减压机构，使得在第一状态下使腔 A 室内的气压达到第一气压之后，在第二状态下使 9 腔室内的气压达到低于第一气压的第二气压。 2