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发明

化学液供应装置及半导体设备

2023-06-11 12:27:25 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201911221421.6
  • 公开（公告）日：2024-11-05
  • 公开（公告）号：CN112892344A
  • 申请人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司
摘要：本发明提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。本发明相较于传统的双套管连接方式，可以极大减少管路安装工作量及成本、提高设备稳固性。相较于现有技术，本发明的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112892344 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 201911221421.6 B01F 3/08(2006.01) (22)申请日 2019.12.03 (71)申请人 盛美半导体设备（上海）股份有限公 司 地址 201203 上海市浦东新区中国（上海） 自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢 (72)发明人 代迎伟　李军世　金一诺　王坚　 王晖　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 代理人 余明伟 (51)Int.Cl. B01F 13/04(2006.01) B01F 15/00(2006.01) B01F 15/02(2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 化学液供应装置及半导体设备 (57)摘要 本发明提供一种化学液供应装置及半导体 设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液 模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液 供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的 化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液 进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管 路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的 内部

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