在基础结构上施加涂层
- 申请专利号:CN201980046926.5
- 公开(公告)日:2021-02-23
- 公开(公告)号:CN112399960A
- 申请人:齐莱尔控股公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112399960 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 201980046926.5 (74)专利代理机构 北京戈程知识产权代理有限 公司 11314 (22)申请日 2019.06.06 代理人 程伟 王锦阳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2021092 2018.06.08 NL B82Y 10/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B82Y 40/00 (2006.01) 2021.01.13 G03F 7/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/3105 (2006.01) PCT/NL2019/050343 2019.06.06 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/235929 EN 2019.12.12 (71)申请人 齐