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发明

一种多自由度可调的晶圆聚焦系统2024

2024-03-25 07:55:04 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202311800804.5
  • 公开（公告）日：2024-03-22
  • 公开（公告）号：CN117742083A
  • 申请人：苏州矽行半导体技术有限公司
摘要：本发明提供了一种多自由度可调的晶圆聚焦系统，属于晶圆检测中的聚焦领域，晶圆聚焦系统包括X粗动模块、Y粗动模块、Stewart平台、Z向粗动模块和镜头；X粗动模块和Y粗动模块用于实现在X向和Y向的移动粗调；Stewart平台用于X向、Y向和Z向的精调；Z向粗动模块非接触的设置在Stewart平台上方，通过Z向粗动模块带动镜头实现Z向的移动粗调。通过本申请，可满足精调和粗调节的需求，时间响应快，结构紧凑，并且采用Stewart的平台，不仅仅满足XYZ方向的调节，同时对于chuck的姿态也有3个方向的调节自由度，通过单一部件的完成多个功能设计，便于在晶圆检测等高精驱控或聚焦领域推广应用。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117742083 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202311800804.5 (22)申请日 2023.12.26 (71)申请人 苏州矽行半导体技术有限公司 地址 215163 江苏省苏州市高新区培源路2 号微系统园2号楼106室 (72)发明人 王超新　陶大帅　马平准　蔡雄飞　 (74)专利代理机构 北京千壹知识产权代理事务 所(普通合伙) 11940 专利代理师 王玉玲 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G03F 9/00 (2006.01) G02B 27/40 (2006.01) G02B 27/62 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种多自由度可调的晶圆聚焦系统 (57)摘要 本发明提供了一种多自由度可调的晶圆聚 焦系统，属于晶圆检测中的聚焦领域，晶圆聚焦 系统包括X粗动模块、Y粗动模块、Stewart平台、Z 向粗动模块和镜头；X粗动模块和Y粗动模块用于 实现在X向和Y向的移动粗调；Stewart平台用于X 向、Y向和Z向的精调；Z向粗动模块非接触的设置 在Stewart平台上方，通过Z向粗动模块带动镜头 实现Z向的移动粗调。通过本申请，可满足精调和 粗调节的需求，时间响应快，结构紧凑，并且采用 Stewart的平台，不仅仅满足XYZ方向的调节，同 时对于chuck的姿态也有

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