一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113810006 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111053511.6 (22)申请日 2021.09.08 (71)申请人 常州承芯半导体有限公司 地址 213166 江苏省常州市武进区国家高 新技术产业开发区淹城南路518号 (72)发明人 韩兴　周建　 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 吴敏 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/56 (2006.01) H03H 9/58 (2006.01) 权利要求书3页 说明书30页 附图10页 (54)发明名称 一种体声波谐振装置、滤波装置及射频前端 装置 (57)摘要 本发明实施例提供一种体声波谐振装置、滤 波装置及射频前端装置，其中，体声波谐振装置 包括：第一层，第一层包括空腔；第一电极层，第 一电极层的至少一端位于空腔内；压电层，位于 第一电极层上，覆盖空腔，压电层包括第一侧及 与第一侧相对的第二侧，第一电极层位于第一 侧；第二电极层，位于第二侧，位于压电层上；以 及至少一个侧空腔，位于第一层与压电层之间， 嵌入第一层，与空腔相通，至少一个侧空腔的深 度小于空腔的深度。在空腔的至少一边旁设置较 浅的侧空腔，横向声波在压电层或电极层或边缘 A 结构与侧空腔的交界处会发生反射，从而阻隔横 6 向模态下朝向支撑层(例如，基