相位-偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114488579 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210156823.8 (22)申请日 2022.02.21 (71)申请人 长春理工大学 地址 130000 吉林省长春市朝阳区卫星路 7089号 (72)发明人 孙德贵　孙娜　 (74)专利代理机构 长春众邦菁华知识产权代理 有限公司 22214 专利代理师 曲博 (51)Int.Cl. G02F 1/03 (2006.01) G02F 1/035 (2006.01) G02F 1/21 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 相位-偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强 度电光调制器 (57)摘要 相位‑偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强 度电光调制器涉及光通信技术领域，解决了当前 电光调制器所面临的光调制输出信号宽度与带 宽之间矛盾的问题。本发明MZI型强度电光调制 器，这种调制器的波导和电极是通过两次刻蚀到 不同的平面上，可使其电光场作用积分值达到 0.7‑0.8。利用二阶平方型电光调制理论模型，借 助于偏振‑相位驱动，可使强度电光调制器的干 涉输出峰值变窄，调制带宽增强。本发明相位‑偏 振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制 器的静态半波电压可以设计在5V以下，动态电光 A 调制时的等效半波电压可以5V左右，器件的核心 9 性能指标：(1)电光调制电压与电光作用长度乘