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发明

基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法2024

2024-06-01 07:24:34 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202410208941.8
  • 公开（公告）日：2024-10-18
  • 公开（公告）号：CN118068656A
  • 申请人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118068656 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410208941.8 (22)申请日 2024.02.26 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 宋法质　武霭辰　孙鹏宇　董岳　 刘杨　谭久彬　 (74)专利代理机构 哈尔滨龙科专利代理有限公 司 23206 专利代理师 王新雨 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习 控制系统及方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超 精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包 括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制 部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包 括运动轨迹生成器C ，运动轨迹生成器C 产生参 r r 考运动轨迹y (t)，y (t)减去位置测量信号y d d ε ,k (t)得到位置误差信号e (t)，e (t)输入给学习 k k 控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k (t)， e (t)与e (t)相加得到修正误差信号e

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