感光树脂组合物及干膜抗蚀剂2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908331 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410136991.X (22)申请日 2024.01.31 (71)申请人 杭州福斯特电子材料有限公司 地址 311300 浙江省杭州市临安区锦北街 道福斯特街8号12幢 (72)发明人 朱薛妍　韩传龙　李志强　李伟杰　 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 专利代理师 白雪 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/09 (2006.01) G03F 7/11 (2006.01) G03F 7/027 (2006.01) 权利要求书2页 说明书15页 (54)发明名称 感光树脂组合物及干膜抗蚀剂 (57)摘要 本发明提供了一种感光树脂组合物及干膜 抗蚀剂。以重量份计，该感光树脂组合物包括：40 ～65份的碱溶性树脂、30 ～55份的光聚合单体、2 ～4.5份的光引发剂、0.01 ～0.5份的维生素B族 化合物及其衍生物以及0.1 ～5份的添加剂。其 中，维生素B族及其衍生物有助于提升干膜抗蚀 剂的耐电镀或蚀刻性能。此外，若维生素B族及其 衍生物的添加含量过低，则无法起到良好地提升 附着性能的作用，在进行电镀工艺时容易渗镀， 易使得印刷电路有短路问题。若维生素B族及其 衍生物的含量过高，易造成感光树脂的交联度过 高、线路分辨