图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288244 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310213953.5 (22)申请日 2023.02.28 (71)申请人 宁波杭州湾新材料研究院 地址 315336 浙江省宁波市杭州湾新区众 创园众创一路 申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 究所 (72)发明人 江南　鲁云祥　王博　褚伍波　 杨国永　 (74)专利代理机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 33250 专利代理师 安威威 (51)Int.Cl. C23C 16/27 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 图形化金刚石的制备方法和具有图形化金 刚石的制品及其应用 (57)摘要 本申请涉及金刚石材料制备领域，提供一种 图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石 的制品及其应用。所述图形化金刚石的制备方法 包括 ：在生长基片的表面设置绝缘基片，所述绝 缘基片具有图形区，所述表面包括通过所述图形 区暴露的暴露区，所述暴露区与所述图形区共同 构成金刚石的生长区；对所述生长基片进行化学 气相沉积，并施加偏压电场，以在所述生长区内 生成金刚石，形成图形化金刚石。本申请的方法 可制备出高纵横比的图形化金刚石。 A 4 4 2 8 8 2 6 1 1 N C CN 116288244 A