一种NA=0.7的紫外长工作距离平场显微物镜
- 申请专利号:CN202310236832.2
- 公开(公告)日:2025-06-27
- 公开(公告)号:CN116449550A
- 申请人:山西大学
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116449550 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202310236832.2 (22)申请日 2023.03.13 (71)申请人 山西大学 地址 030006 山西省太原市坞城路92号 (72)发明人 李刚 杨鹏飞 张鹏飞 张天才 (74)专利代理机构 太原申立德知识产权代理事 务所(特殊普通合伙) 14115 专利代理师 杜怀宇 (51)Int.Cl. G02B 21/02 (2006.01) G02B 13/00 (2006.01) G02B 13/14 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 一种NA=0.7的紫外长工作距离平场显微物 镜 (57)摘要 本发明公开了一种NA=0.7的紫外长工作距 离平场显微物镜,从像方到物方依次由第一透 镜、透镜组元和光学观察窗组成,所述透镜组元 由第二、第三、第四、第五、第六透镜组成。所述第 一透镜具有负的光焦度,主要用于场曲的校正; 所述第二、第三、第四、第五、第六透镜具有正的 光焦度,主要用于校正球差和慧差,同时增加光 焦度。本发明显微物镜的工作距离可达15mm (包 括光学观察窗片)。本发明能够在200‑400nm紫外 波段提供大工作距离和高分辨率的显微物镜,同 时能对不同厚度的真空玻璃窗片引起像差进行 A 优化调节和补偿,整个物镜采用二氧化硅光学玻 0 璃加工的单片透镜组成,系统结构简单,可广泛