一种易于维护的EUV光源液滴锡靶供应装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690588 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210179471.8 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人 中国科学院大连化学物理研究所 地址 116000 辽宁省大连市沙河口区中山 路457号 (72)发明人 焦志润　王浩　 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 21212 专利代理师 修睿　李洪福 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) H05G 2/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种易于维护的EUV光源液滴锡靶供应装置 (57)摘要 本发明提供一种易于维护的EUV光源液滴锡 靶供应装置。本发明包括阀体和与阀体输出端相 连的声学产生及传播装置，阀体的两端分别设有 第一端盖板和第二端盖板，阀体内部作为靶材腔 室，第一端盖板上设有与所述靶材腔室相连的小 孔，声学产生及传播装置的输入端连接靶材腔 室，阀体的外部可拆卸地套接有温度调节装置， 第二端盖板上设有连接阀体内部的加压管路，加 压管路用于向靶材腔室加压，得到连续的锡喷射 流，温度调节装置用于为阀体加热温度，声学产 生及传播装置用于将经过其的连续的锡喷射流 变为稳定的锡液滴流，声学产生及传播装置配套 A 有用于为其制冷温的主动制冷装置。本发明方便 8 的更换阀体，可实现锡滴极高的空间稳定性和极 8 5 0 好的高