一种微机电系统及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120850 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 201911408207.1 (22)申请日 2019.12.31 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 518129 广东省深圳市龙岗区坂田华 为总部办公楼 (72)发明人 孙丰沛　冯志宏　徐景辉　 (51)Int.Cl. B81B 5/00(2006.01) B81B 7/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) B81C 1/00(2006.01) B81C 3/00(2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (54)发明名称 一种微机电系统及其制备方法 (57)摘要 本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包 括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动 平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第 二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和 第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端 固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上； 所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述 第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结 构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。 A 0 5 8 0 2 1 3 1 1 N C CN 113120850 A 权　利　要　求　书