光刻机工件台运动精度检测装置及检测方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117031888 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311070989.9 (22)申请日 2023.08.24 (71)申请人 千凰微纳装备科技 （北京）有限公司 地址 101300 北京市顺义区军营南街10号 院1幢1-6层1层C001室（顺创） (72)发明人 周赛　祁伟　董华龙　唐宇靖　 杜飞飞　刘晓炜　韩亚鹏　 (74)专利代理机构 北京汇彩知识产权代理有限 公司 11563 专利代理师 董丽萍 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 光刻机工件台运动精度检测装置及检测方 法 (57)摘要 本发明涉及一种光刻机工件台运动精度检 测装置及检测方法，包括工作台，工件台设置在Y 轴大理石导轨上，Y轴大理石导轨设置在X轴大理 石导轨；X轴大理石导轨包括X1轴大理石导轨和 X2轴大理石导轨 ；Y轴大理石导轨一端设置在X1 轴大理石导轨上，另一端设置在X2轴大理石导轨 上；工作台设置有XYZ轴偏移量检测装置和 θ角 扭摆值检测装置和R角倾覆值检测装置。本发明 光刻机工件台运动精度检测装置，通过涡流传感 器检测气浮导轨运动副气膜间隙的变化，可以检 测出工件台运动状态及运动精度，同时搭配精密 A 电气比例阀调整气压改变气膜间隙，来补偿工件 8 台运动精度；防止工件台气浮运动副卡死，防止 8