一种PECVD炉管多功用清洁装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220804857 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322575134.3 (22)申请日 2023.09.21 (73)专利权人 英利能源发展（保定）有限公司 地址 072150 河北省保定市满城区建业路 003号高技术服务产业园研究中心2层 专利权人 英利能源发展有限公司 (72)发明人 张煌军　赵鹏　冉祖辉　韩永清　 张志强　史金超　于波　 (74)专利代理机构 河北国维致远知识产权代理 有限公司 13137 专利代理师 郝伟 (51)Int.Cl. B08B 9/36 (2006.01) B08B 9/28 (2006.01) B08B 15/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)实用新型名称 一种PECVD炉管多功用清洁装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种PECVD炉管多功用清 洁装置，属于光伏电池技术领域，包括吹扫块体、 回收块体、刷除块体及两个连通管道：吹扫块体 上设有多个出气孔，回收块体上设有多个回收 孔，刷除块体的外侧面设有毛刷，且毛刷设有用 于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺 口；刷除块体用于与镀膜炉管的进出桨固定连 接；两个连通管道的一端分别与吹扫块体和回收 块体上的内部相连通，且两个连通管道的另一端 分别用于与压缩气源和负压机相连接。本实用新