一种碳化硅籽晶热压设备的压头结构2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117841449 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311800050.3 (22)申请日 2023.12.25 (71)申请人 上海汉虹精密机械有限公司 地址 200444 上海市宝山区城市工业园区 山连路188号 (72)发明人 唐明　赖章田　夏孝平　金安泽　 陈士利　 (74)专利代理机构 上海申浩律师事务所 31280 专利代理师 李敏 (51)Int.Cl. B30B 15/06 (2006.01) B30B 15/34 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种碳化硅籽晶热压设备的压头结构 (57)摘要 本发明提供一种碳化硅籽晶热压设备的压 头结构，包括热压炉主体，热压炉主体的顶部安 装有一液压缸，液压缸的下方设有水冷轴，水冷 轴是中空水冷轴，水冷轴的内管为固定式进水 管，水冷轴的外管为出水管；热压炉主体还包括 一热压腔，水冷轴的一端伸入热压腔内，热压腔 的内部设有上石墨加热盘和下石墨加热盘，水冷 轴的底部通过球状连接杆与上石墨加热盘连接， 下石墨加热盘固定在热压腔的底部，且上石墨加 热盘的中心轴线与下石墨加热盘的中心轴线重 合，热压炉主体还包括加热电极，加热电极固定 在热压腔的外壁，且加热电极的加热端贯穿热压 A 腔朝向上石墨加热盘和下石墨加热盘。本发明上 9 压头采用球状连接的设计方式，能够在下压的过 4 4 1 程中自动调整