热处理炉的腔室冷却单元

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113776340 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202010655539.6 (22)申请日 2020.07.09 (30)优先权数据 10-2020-0069567 2020.06.09 KR (71)申请人 韩国光洋热电系统有限公司 地址 韩国京畿道平泽市彭城邑秋八产业园 地一路70 (72)发明人 金珉哲　中西识　 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11384 代理人 郑青松 (51)Int.Cl. F27D 1/12 (2006.01) F26B 25/12 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图11页 (54)发明名称 热处理炉的腔室冷却单元 (57)摘要 本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发 明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉， 其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室， 所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而 利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥； 冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形 成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于 所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的 所述冷却气流通道中形成冷却气流。 A 0 4 3 6 7 7 3 1 1 N C CN 113776340