一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117276109 A (43)申请公布日 2023.12.22 (21)申请号 202311270098.8 (22)申请日 2023.09.27 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 地址 710065 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 (72)发明人 李安杰　邹亚辉　徐鹏　 (74)专利代理机构 西安维英格知识产权代理事 务所(普通合伙) 61253 专利代理师 沈寒酉　李斌栋 (51)Int.Cl. H01L 21/66 (2006.01) G01N 23/207 (2018.01) G01N 23/2055 (2018.01) G01D 21/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图6页 (54)发明名称 一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质 (57)摘要 本公开实施例提供了一种检测孪晶缺陷的 方法、装置及介质。该方法可以包括：对历史拉晶 参数进行聚类分析，获得至少一个聚类簇以及每 个聚类簇的簇中心；在当前拉晶过程中，实时采 集当前拉晶参数；获取所述当前拉晶参数与各所 述聚类簇的簇中心的第一距离；根据第一距离确 定与所述当前拉晶参数最接近的聚类簇；当所述 当前拉晶参数大于其最接近的聚类簇对应的判 定阈值时，确定所述当前拉晶参数将导致拉晶过 程中产生孪晶缺陷。 A 9 0 1 6 7 2 7 1 1 N C