一种密封装置、容器及工件处理系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112663118 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 201910983796.X (22)申请日 2019.10.16 (71)申请人 昆山东威科技股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇 东定路东侧 (72)发明人 危勇军　方志斌　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 徐律 (51)Int.Cl. C25D 17/00(2006.01) C23G 3/00(2006.01) C23G 5/04(2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图3页 (54)发明名称 一种密封装置、容器及工件处理系统 (57)摘要 本发明提供了一种密封装置、容器及工件处 理系统，其中密封装置包括至少一个密封机构， 密封机构包括第一驱动机构、至少两组第一密封 组件和至少一组第二密封组件；任一组第一密封 组件包括至少一个第一密封部件；任一组第二密 封组件包括至少一个第二密封部件；第一密封组 件在滑行通道内与第二密封组件同步滑动，且第 一密封部件与第二密封部件一一对应并且相互 面对的端面密封抵接；至少一组第一密封部件滑 动抵接在第一区域所在密封通道的内壁上。此结 构的密封装置，通过第一密封组件与第二密封组 件密封抵接及第一密封组件与