1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
发明

用于检测及量测的方法与装置

2023-06-14 12:25:38 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202110313757.6
  • 公开（公告）日：2024-11-05
  • 公开（公告）号：CN113050388A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本公开的实施例涉及用于检测及量测的方法与装置。一种方法，包括：执行仿真以对多个量测目标和/或用来测量量测目标的多个量测选配方案进行评价；从经评价的多个量测目标和/或量测选配方案中标识一个或多个量测目标和/或量测选配方案；接收一个或多个标识的量测目标和/或量测选配方案的测量数据；以及使用测量数据来调整量测目标参数或量测选配方案参数。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113050388 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110313757.6 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2016.03.24 代理人 李兴斌 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/146,079 2015.04.10 US G03F 7/20 (2006.01) (62)分案原申请数据 G03F 9/00 (2006.01) 201680020990.2 2016.03.24 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 L ·M ·威廉斯　K ·布哈塔查里亚　 P ·P ·宾特维诺斯　G ·陈　 M ·艾伯特　 P ·J ·M ·H ·克奈里森　S ·摩根　 M ·范德沙　L ·H ·M ·维斯塔彭　 J-S ·王　P ·H ·瓦德尼尔　

最新专利

相关专利