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PCT发明

用于在一系列分离工艺期间通过线锯从工件分离多个晶片的方法

2024-05-30 07:00:10 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202180011525.3
  • 公开（公告）日：2024-05-28
  • 公开（公告）号：CN115023328A
  • 申请人：硅电子股份公司
摘要：本发明涉及用于在一系列分离工艺期间通过线锯从工件分离多个晶片的方法，一系列切片操作被细分为初始切割以及第一后续切割和第二后续切割，所述线锯包含锯切线的移动线区段的线网和调节装置，并且线网在两个线引导辊之间的平面中被拉伸，其中两个线引导辊中的每个线引导辊被安装在固定轴承与可移动轴承之间，所述方法包含：在切片操作中的每个切片操作期间，通过调节装置，在工作流体和磨蚀性地作用于所工件上的硬质物质的存在下，沿着垂直于工件轴线且垂直于线网的平面的进料方向，将各工件进料通过线网，其包含：在切片操作中的每个切片操作期间，两个线引导辊的可移动轴承的振荡轴向移动；以及根据校正曲线的要求，通过调节元件，将工件进料通过线网，同时工件沿着工件轴线位移，校正曲线包含振荡分量，所述振荡分量与可移动轴承的轴向移动对切下的晶片的形状所具有的作用相反。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115023328 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202180011525.3 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 (22)申请日 2021.01.18 专利代理师 过晓东 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 20154140.6 2020.01.28 EP B28D 5/04 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.07.28 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2021/050897 2021.01.18 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/151695 DE 2021.08.05 (71)申请人 硅电子股份公司 地址 德国慕尼黑 (72)发明人 G ·皮奇　P ·维斯纳　 权利要求书2页 说明书15页 附图10页 (54)发明名称 形状所具有的作用相反。 用于在一系列分离工艺期间通过线锯从工 件分离多个

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