发明

微机械惯性传感器2024

2024-04-21 07:26:36 发布于四川 0

申请专利号：CN201910992349.0
公开（公告）日：2024-04-16
公开（公告）号：CN111071982A
申请人：罗伯特·博世有限公司

摘要：本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底(1)；‑振动质量(10)；‑限定数量的探测电极(20、21)以用于通过所述振动质量(10)与所述探测电极(20、21)在功能上的共同作用来探测所述振动质量(10)的偏移；和‑限定数量的补偿电极(30、31)以用于生成电信号来补偿由于所述衬底(1)的寄生变形所引起的电偏置信号。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111071982 A (43)申请公布日 2020.04.28 (21)申请号 201910992349.0 G01P 15/097(2006.01) G01P 15/125(2006.01) (22)申请日 2019.10.18 (30)优先权数据 102018217841.0 2018.10.18 DE (71)申请人罗伯特博世有限公司 · 地址德国斯图加特 (72)发明人 L 切克　L 格格　S 霍瓦特　 · · · (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司 72002 代理人侯鸣慧 (51)Int.Cl. B81B 3/00(2006.01) B81C 1/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) G01C 19/5733(2012.01) 权利要求书1页说明书5页附图14页 (54)发明名称微机械惯性传感器 (57)摘要本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：-衬底(1)；-振动质量(10)；-

微机械惯性传感器2024

专利内容

最新专利

相关专利