一种基于有源耦合的二自由度谐振式MEMS传感器及应用

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113968570 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202010734433.5 (22)申请日 2020.07.24 (71)申请人 华中科技大学 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路 1037号 (72)发明人 赵纯　 (74)专利代理机构 华中科技大学专利中心 42201 代理人 李智 (51) Int.C l. B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种基于有源耦合的二自由度谐振式MEMS 传感器及应用 (57)摘要 本发明公开了一种基于有源耦合的二自由 度谐振式MEMS传感器及应用，属于信息工程领域 中的微机电系统及其传感、控制领域。包括有源 耦合模块、感测模块和MEMS谐振器件，MEMS谐振 器件包括第一谐振器和第二谐振器；有源耦合模 块将第一谐振器和第二谐振器相互有源耦合起 来，使得第一谐振器的频率和第二谐振器的频率 在特定区间内快速收敛，在频率快速收敛的区间 内，待测量的变化导致的第一谐振器和第二谐振 器的频率变化远高于无有源耦合结构的传统谐 振式传感方式，通过检测第一谐振器和第二谐振 A 器的频率变化，以及第一谐振器和第二谐振器的 0 频率变化之差，即可测得待测量变化。本发明可 7 5 8 以解决现有技术中谐振式加速度传感器灵敏度 6 9 3 和分辨率较低的问题。 1 1