微结构流体流动控制装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112340690 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202010787650.0 (22)申请日 2020.08.07 (30)优先权数据 102019211941.7 2019.08.08 DE (71)申请人 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 地址 德国慕尼黑 (72)发明人 克里斯蒂安 ·瓦尔德　 塞巴斯蒂安 ·基布勒　 马丁 ·瓦克尔　尤塞尔 ·康加尔　 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 代理人 宋融冰 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图11页 (54)发明名称 微结构流体流动控制装置 (57)摘要 本发明涉及一种微结构流体流动控制装置， 该装置具有基板，其第一基板侧布置有压电致动 第一膜片，基板具有流体通道，流体通道在第一 基板侧和与其相对的第二基板侧之间延伸穿过 基板。另外，微结构流体流动控制装置还包括延 伸穿过流体通道的微型阀和第二膜片，微型阀被 构造为在未致动状态下闭合流体通道，第二膜片 布置在第一基板侧上且与第一膜片隔开，并且布 置在流体通道和压电致动第一膜片之间。根据本 发明，第二膜片与微型阀连结，并且朝向第一膜 片机械地偏置，从而向微型阀施加偏置力(F )