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发明

一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介质

2023-05-17 11:54:32 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210232772.2
  • 公开（公告）日：2024-12-03
  • 公开（公告）号：CN114798479A
  • 申请人：深圳宏芯宇电子股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介质。所述筛选方法包括：获取待筛选晶圆中的第一图像，其中，第一图像为待筛选晶圆中的裸片分布图像；基于所述第一图像，建立坐标系，并根据坐标系获取待筛选晶圆中各裸片的坐标值；基于各坐标值，获取待筛选晶圆中的第二图像，其中，第二图像为待筛选晶圆中的裸片图像；对第二图像进行识别，并判断第二图像是否为外形完整的裸片图像，得到判断结果；根据判断结果，确定第二图像对应的裸片是否完整，并对裸片进行筛选操作。实现了裸片筛选的智能化，提高筛选效率、提高筛选准确率以及提高不良品的利用率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114798479 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210232772.2 G06T 1/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人 深圳宏芯宇电子股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市福田区梅林街 道梅都社区中康路136号深圳新一代 产业园2栋2501、2401、1501 (72)发明人 赖振楠　陈灶斌　 (74)专利代理机构 深圳中创智财知识产权代理 有限公司 44553 专利代理师 郑一帆　吴英 (51)Int.Cl. B07C 5/34 (2006.01) B07C 5/36 (2006.01) G06T 7/00 (2017.01) G06T 7/70 (2017.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图6页 (54)发明名称 一种裸片的筛选方法、装置、设备及存储介 质 (57)摘要 本发明涉及半导体技术领域，公开了一种裸 片的筛选方法、装置、设备及存储介质。所述筛选 方法包括：获取待筛选晶圆中的第一图像，其中， 第一图像为待筛选晶圆中的裸片分布图像；基于 所述第一图像，建立坐标系，并根据坐标系获取 待筛选晶圆中各裸

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