一种控温系统及控温方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117766434 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311772969.6 (22)申请日 2023.12.20 (71)申请人 上海盛剑半导体科技有限公司 地址 201000 上海市嘉定区嘉定工业区叶 城路1288号6幢JT2450室 (72)发明人 张伟明　姜秀鹏　张国强　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 戴尧罡 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) H05K 7/20 (2006.01) 权利要求书3页 说明书11页 附图4页 (54)发明名称 一种控温系统及控温方法 (57)摘要 本发明公开了一种控温系统及控温方法，涉 及半导体技术领域。该控温系统包括冷却液管 路、工艺水管路及冷媒管路，冷却液管路包括冷 却液回液管与冷却液供液管；冷却液回液管上依 次设置有第一换热器与第二换热器，第一换热器 接入工艺水管路，第二换热器接入冷媒管路，第 一换热器与第二换热器均用于对冷却液进行冷 却；冷却液供液管上依次设置有第三换热器与加 热装置，第三换热器接入冷媒管路，并与第二换 热器串联设置，第三换热器用于对冷却液进行预 热。本发明提供的控温系统能够实现对冷却液的 低能耗温度调控，并能够提升温度调控精度。 A 4 3 4 6 6 7 7 1 1 N C CN 117766434 A