一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114291785 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111497956.3 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 北京遥测技术研究所 地址 100076 北京市丰台区南大红门路1号 申请人 航天长征火箭技术有限公司 (72)发明人 高旗　郝玉涛　杨挺　杨贵玉　 路文一　尹玉刚　陈青松　彭泳卿　 (74)专利代理机构 北京巨弘知识产权代理事务 所(普通合伙) 11673 代理人 赵洋 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方 法 (57)摘要 本发明提供一种基于GIS盖板的三明治加速 度计制备方法，包括上盖板、下盖板和中间层敏 感结构，上盖板包括硅‑玻璃，下盖板包括硅‑玻 璃，该方法包括以下步骤：在上下盖板硅晶片上 光刻腐蚀出多个单元图形，与玻璃片进行键合， 通过回流、研磨、抛光等工序实现GIS结构；结构 硅晶片双面光刻湿法腐蚀出结构图形；将结构硅 晶片中的结构图形、上下盖板硅晶片中与结构硅 中结构图形对应的单元图形在设定气压、设定温 度的键合设备内进行键合。本发明继承经典硅‑ 玻璃‑硅‑玻璃‑硅五层结构低寄生电容优势，同 A