一种宏微并行双驱动的二自由度解耦柔性纳米定位平台2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116758974 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310680923.5 (22)申请日 2023.06.09 (71)申请人 上海工程技术大学 地址 201620 上海市松江区龙腾路333号 (72)发明人 陈云壮　赖磊捷　 (74)专利代理机构 上海科盛知识产权代理有限 公司 31225 专利代理师 陈天宝 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 一种宏微并行双驱动的二自由度解耦柔性 纳米定位平台 (57)摘要 本发明涉及一种宏微并行双驱动的二自由 度解耦柔性纳米定位平台，包括：平台底板、两个 压电陶瓷驱动器、两个音圈电机、两个音圈电机 连接板、两组嵌入微平台的宏微并联复合机构、 八组双平行四边形导向机构、四组单直梁簧片、 末端执行器；第一组嵌入微平台的宏微并联复合 机构的底部刚性杆和第二组宏微并联复合机构 底部刚性杆分别与第一音圈电机连接板和第二 音圈电机连接板连接；两组嵌入微平台的宏微并 联复合机构均将音圈电机的位移和压电陶瓷驱 动器的位移传递至末端执行器。与现有技术相 A 比，本发明通过并联配置的方式实现了平面二自 4 由度大行程范围内的快速纳米定位，可以快速补 7 9 8 偿音圈电机驱动宏平台末端执行器的运动误差 5 7 6 以及交叉轴耦合误差。 1 1 N C CN 116758974