气化清洗液回收装置
- 申请专利号:CN202210198670.3
- 公开(公告)日:2023-04-25
- 公开(公告)号:CN115007523A
- 申请人:爱阔特株式会社
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115007523 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202210198670.3 (22)申请日 2022.03.02 (30)优先权数据 2021-035506 2021.03.05 JP (71)申请人 爱阔特株式会社 地址 日本京都府 (72)发明人 石井郁男 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 专利代理师 刘新宇 张会华 (51)Int.Cl. B08B 3/02 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) B01D 53/18 (2006.01) F26B 5/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 气化清洗液回收装置 (57)摘要 本发明提供气化清洗液回收装置,其能够抑 制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出。气化清洗 液回收装置包括:废气回收槽,其贮存有作为回 收对象的清洗液能够溶解的贮存液;第1气体排 出通路,其一端连接于清洗液的蒸汽的产生源, 另一端在废气回收槽内的第1位置处开口;第1 泵,其设于第1气体排出通路,使产生源的气体排 出;第2气体排出通路,其一端在废气回收槽内的 比第1位置靠上的第2位置处开口,另一端处于废 气回收槽外;第2泵,其设于第2气体排出通路,使 废气回收槽内的气体排出;以及开闭阀,其设于 第2气体排出通路的
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