一种光刻胶有机剥离液及其制备方法和应用2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908340 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410059394.1 (22)申请日 2024.01.16 (71)申请人 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 地址 621000 四川省绵阳市经开区三江大 道327号 (72)发明人 冯卫文　王博　夏姣　叶帅　 张文江　邹俊杰　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 霍苗 (51)Int.Cl. G03F 7/42 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图12页 (54)发明名称 一种光刻胶有机剥离液及其制备方法和应 用 (57)摘要 本发明涉及光刻胶剥离液技术领域，尤其涉 及一种光刻胶有机剥离液及其制备方法和应用。 本发明提供了一种光刻胶有机剥离液，按照质量 份数计，包括有机胺10～30份，醚/醇类有机溶剂 70 ～90份和添加剂1 ～5份；所述添加剂包括1‑ (2‑羟乙基)哌嗪、N‑(2‑羟乙基)乙二胺、甲基苯 丙三氮唑、亚氨基二丙胺、2,4‑二羟基嘧啶、丁二 酸、N‑乙基吡咯烷酮、1‑甲基‑5‑硝基咪唑、硫脲、 4‑羟基丁酸内酯、柠檬酸、葡萄糖、葡萄糖酸和苹 果酸中的一种或几种。所述光刻胶有机剥离液具 有较高的剥离效率和剥离效果，节能环保，同时 A 避开了强腐蚀性物质。 0 4 3 8 0 9 7 1 1 N C CN 117908340 A 权　利　要