包括体积减少的压电致动器的MEMS设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108373135 A (43)申请公布日 2018.08.07 (21)申请号 201710972205.X (22)申请日 2017.10.18 (30)优先权数据 102017000010342 2017.01.31 IT (71)申请人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 D 朱斯蒂　 · (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华　潘聪 (51)Int.Cl. B81B 3/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 包括体积减少的压电致动器的MEMS设备 (57)摘要 所描述的是一种包括压电致动器的MEMS设 备，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯 穿。 A 5 3 1 3 7 3 8 0 1 N C CN 108373135 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种MEMS设备，包括： 压电致动器，包括压电材料膜，所述膜包括多个通孔。 2.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中所述压电材料是PZT。 3.根据权利要