弹性波装置、射频前端模组和弹性波装置的制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117713735 A (43)申请公布日 2024.03.15 (21)申请号 202311696234.X (22)申请日 2023.12.11 (71)申请人 锐石创芯（重庆）科技有限公司 地址 400700 重庆市北碚区云汉大道117号 附450号 (72)发明人 张正义　蒋欣　沈旭铭　喻军　 王华磊　倪建兴　 (74)专利代理机构 深圳市力道知识产权代理事 务所(普通合伙) 44507 专利代理师 庞青莲 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/25 (2006.01) H03H 9/64 (2006.01) H03H 3/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图4页 (54)发明名称 弹性波装置、射频前端模组和弹性波装置的 制备方法 (57)摘要 本申请适用于射频滤波技术领域，公开了一 种弹性波装置、射频前端模组和弹性波装置的制 备方法，其中，弹性波装置包括压电基底以及设 置在压电基底上的至少一个叉指换能器，叉指换 能器包括至少两个叉指电极；其中，至少一个叉 指电极包括金属膜和第一电极膜，金属膜设于压 电基底上，且金属膜远离压电基底的一面为粗糙 面；第一电极膜位于粗糙面上。本实施例的弹性 波装置能够提高功率耐受性。 A 5 3 7 3 1 7 7 1 1