纳米操纵器
- 申请专利号:CN202010348553.1
- 公开(公告)日:2021-10-29
- 公开(公告)号:CN113562690A
- 申请人:清华大学|||鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113562690 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202010348553.1 TW 201228923 A,2012.07.16 (22)申请日 2020.04.28 US 2008213567 A1,2008.09.04 CN 102201532 A,2011.09.28 (65)同一申请的已公布的文献号 Keven Wang等.Performance limits of 申请公布号 CN 113562690 A microactuation with vanadium dioxide as a (43)申请公布日 2021.10.29 solid engine.《ACS Nano》.2013,第7卷(第3 期), (73)专利权人 清华大学 He Ma等.Infrared micro-detectors with 地址 100084 北京市海淀区清华大学清华- 富士康纳米科技研究中心401室 high sensitivity and high repons