一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清洗系统及清洗方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117019767 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310886668.X (22)申请日 2023.07.19 (71)申请人 北京航空航天大学 地址 100191 北京市海淀区学院路37号 申请人 兰州空间技术物理研究所 (72)发明人 王伟宗　董宜承　孔维一　王海波　 韩明月　李兴达　 (74)专利代理机构 北京慧泉知识产权代理有限 公司 11232 专利代理师 王顺荣　唐爱华 (51)Int.Cl. B08B 7/00 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种射频离子推力器电离室内壁面溅射清 洗系统及清洗方法 (57)摘要 本发明提出一种射频离子推力器电离室内 壁面溅射清洗系统及清洗方法，系统由气体分配 器、电势控制线、射频线圈、电离室、屏栅、加速 栅、正直流电压源、射频电源、负直流电压源及导 电胶带组成。方法包括 ：一、射频离子推力器启 动，电离室内形成等离子体；二、给屏栅施加正电 压，离子被栅极系统引出，推力器进入工作状态； 三、当导电薄膜较厚、功率馈入削弱时，关闭正直 流电源，推力器无离子引出；四、打开负直流电 源，向电势控制线缓慢施加负电压离子撞击电离 室内壁面的能量增加；五、电离室内壁面的导电 A 薄膜在离子的轰击下，溅射出粒子，粒子呈中性， 7 在中性