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PCT发明

密封装置、部件及光刻设备

2023-04-22 09:15:33 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080039070.1
  • 公开（公告）日：2024-08-27
  • 公开（公告）号：CN113939769A
  • 申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：一种密封装置(300)，其相对于光刻设备(100A、100B)的第二部件部分(206)密封该光刻设备(100A、100B)的第一部件部分(202)，该密封装置包括许多密封环(302)和许多连接位置(304)，其中密封环(302)借助于连接位置(304)彼此连接。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113939769 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202080039070.1 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 (22)申请日 2020.04.01 代理人 王蕊瑞 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019204699.1 2019.04.02 DE G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G02B 5/09 (2006.01) 2021.11.25 G02B 27/09 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/059305 2020.04.01 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/201381 EN 2020.10.08 (71)申请人 卡尔蔡司SMT有限责任公司 地址 德国上科亨 (

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