影响系数的确定方法、装置、计算机设备及存储介质2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118070720 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410198920.2 (22)申请日 2024.02.22 (71)申请人 北京华大九天科技股份有限公司 地址 100102 北京市朝阳区利泽中二路2号 A座二层 (72)发明人 龚贵琴　 (74)专利代理机构 北京名华博信知识产权代理 有限公司 11453 专利代理师 胡丹 (51)Int.Cl. G06F 30/33 (2020.01) G06F 30/337 (2020.01) G06F 18/27 (2023.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图3页 (54)发明名称 影响系数的确定方法、装置、计算机设备及 存储介质 (57)摘要 本公开是关于一种影响系数的确定方法、装 置、计算机设备及存储介质。影响系数的确定方 法包括：获取第一预设参数的第一参数值和第二 预设参数的第二参数值，根据第一参数值和第二 参数值，确定第三预设参数的第三参数值；响应 于第一参数值、第二参数值和第三参数值适合于 第一线性回归模型的拟合，根据第一线性回归模 型对第一参数值、第二参数值和第三参数值的拟 合结果，确定目标拟合结果；根据目标拟合结果， 确定第一预设参数和第二预设参数对第三预设 参数的影响系数。该方法能够直观看出同一晶圆 A 区域上相同元器件由于工艺制造引入的随机偏 0 差和不同晶圆之间的工艺角偏差对集成电路芯